等离子清洗机

等离子清洗系统主要用作清洗微电子器件塑料封装、引线架以及LCD电路板和其他产品。 莎姆克公司提供用于科研和试生产的小型机台,以及大腔体型量产机台。

等离子清洗机
(直接等离子处理)

 

· 三种不同的工艺模式 (RIE, PE, DS模式)
· 全自动工艺流程
· 操作简便的触摸屏

 

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远程等离子清洗机
(DS模式等离子)

 

· 远程等离子源常用于引线架和塑封表面的温和清洗
· 全自动工艺流程
· 操作简便的触摸屏

 

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紫外臭氧清洗机

莎姆克公司的紫外臭氧清洗机综合利用紫外线光照,高浓度臭氧和加热载台,是一个完全干燥和无损伤的清洗工艺,常用于材料研究和器件制造。

 

· 工艺过程完全干燥
· 在线臭氧发生器和加热载台,能提高有机物残留物去除率
· 对电路不带来等离子电荷,无物理损伤
· 配备臭氧催化分解装置
· 多种系统阵容用于科研和生产

 

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