远程等离子清洗机(DS等离子清洗)

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远程等离子清洗机

remote source plasma cleaners

LFC150是一款手动批量处理系统,可用于各种引线架的表面清洗,样品通常放置在magazines里。该系统配备远程直流等离子体源,等离子由热灯丝产生。

典型的应用包括:
· 表面活化和化学软去除氧化物或有机残留物
· 表面清洗引线架、塑料封装、MEMS或微光学器件封装、混合或多芯片模块
· 表面处理用于改善粘合,键合或封装

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高容量的远程等离子清洗机

Remote Source Plasma Cleaner

随着产量需求的增加,量产型magazine设备都装配有RF和DC远程源。LFC063最大可处理280 mm x 330 mm的基板,Flexliner II最大能处理330mmX330mm的基板。这些系统包含了基本远程等离子系统的所有特点,并增加了精密传感功能,使之能够可靠且高速运转,使基板和magazine尽量小的移动。

系统有多种设置:
· 基板从输入magazine移动到工艺腔体,然后进入输出magazine。
· 基板从输入magazine移动到工艺腔体然后回到相同的magazine里。

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工艺实例

亲水性调控

莎姆克等离子清洗机可对样品表面活化处理。环烯烃共聚物(COC)经过等离子清洗机处理,并测量水接触角。根据工艺参数,样品显示疏水或表面疏水性。

最初的COC

最初的COC
接触角:90.9°

COC亲水性处理之后

COC亲水性处理之后
接触角:5.8°

COC疏水性处理之后

COC疏水性处理之后
接触角:128.0°

规格表

远程等离子清洗机 高容量远程等离子清洗机
装片方式 手动 装片盒
样品尺寸 330 mm x 330 mm

or

200 mm
280 mm x 330 mm

or

330 mm x 330 mm
工艺气体 高达4路
等离子模式 RF远程等离子源
热阴极或者空心阴极
RF功率 600/1000 W
系统控制 简单易操作触摸屏
系统特色 晶圆或导向板 Magazine用于高产量

精确的样品操作减少移动
应用 塑料封装和金属引线架表面清洗
表面处理用于改善粘合, 键合或封装
表面活化,去除氧化物和有机残留物
多种材料的优化等离子处理

系统特点

三种等离子体处理模式

莎姆克桌面等离子清洗机根据电极摆放位置配备有三种不同的模式。

RF DS等离子

RF downstream plasma

中空阴极远程等离子体源使用网格将样品与等离子分离。这样有效屏蔽了敏感的样品基板,减少等离子物理损伤,如加热、离子轰击,以及再沉积。

热阴极直流等离子体

DC plasma

热阴极远程等离子源通过热灯丝在低压下产生直流等离子。我们具有专利的等离子化学清洗工艺,利用低能离子和自由基与表面污染物反应形成挥发性化合物。

Magazine 工艺

Magazine 工艺

用户使用Magazine stacker可装载2排magazine。

客户证明

莎姆克等离子清洗机用于纳米器件的制造和材料处理,包括:

国立清华大学

东京大学

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