水蒸气等离子清洗
Aqua Plasma Cleaner是以水蒸气（H₂O）为主要原料的等离子体处理设备。这些系统可以进行安全、环保的表面处理，如氧化物还原、有机污染物清洗、树脂粘合、超亲水化等。
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水蒸气等离子清洗机 AQ-2000
水蒸气（H₂O）为主要原料的等离子体处理设备
主要特点和优点
AQ系列是专门为Aqua Plasma处理设计的等离子体清洗机，它使用H2O作为工艺气体。
这些系统能够对微流体制造的聚合物表面进行处理和粘合。此外，该系统提供金属表面清洗，而不会出现传统O2或Ar等离子体处理中的典型工艺难题--表面氧化和再沉积。该独特工艺适用于微电子封装中的铜/银引线框架和电极清洗。