等离子体增强型CVD设备 PD-2201LC
节省空间的生产系统

概要

PD-2201LC 是一种盒式装载等离子体增强化学气相沉积 (PECVD) 设备,能够沉积硅基薄膜(氧化硅、氮化硅、氧氮化硅和非晶硅)。
该系统在节省空间的前提下提供了PECVD的所有标准功能。可在直径220毫米的区域内沉积具有优异厚度均匀性和应力控制的薄膜,并具有优异的稳定性和可重复性。用户友好的触摸屏界面,用于参数控制和配方存储。该系统是大规模生产用薄膜沉积的理想选择,具有优异的重复性。

主要特点和优点

  • 最大加工范围:ø220 mm (ø3" x 5, ø4" x 3, ø8" x 1)
  • 优异的均匀性和应力控制
  • 卓越的工艺稳定性和可重复性
  • 坚固的系统,最低的运行/维护成本
  • 用户友好的触摸屏界面,用于参数控制和配方存储
  • PD-2201LC设计时尚、节省空间,只需最小的洁净室空间
  • 双频(13.56 MHz + 400 kHz)PECVD,用于卓越的过程控制

应用

  • SiH4-SiNx
  • SiH4-SiO2
  • 液体前驱体(SN-2)SiNx。
  • TEOS-SiO2